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                SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

                SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人
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                • SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

                SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

                SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

                產(chǎn)品描述


                4軸大氣5片晶圓搬運機器人
                SA25_SA系列半導(dǎo)體機器人
                 
                • ● 采用閉環(huán)伺服控制
                • ● 可選配免電池絕對式編碼器
                • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程
                • ● 末端執(zhí)?器類型:下托式

                臂長

                250mm

                額定/最大負(fù)載

                5晶圓

                搬運物

                Φ100~Φ300mm晶圓

                新時達(dá)眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

                關(guān)鍵詞:

                新時達(dá)眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

                規(guī)格參數(shù)

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